山东十一选五计划:c.OXIDATOR 150

c.OXIDATOR 150 SiC High-Temperature Furnace
c.OXIDATOR 150 Operating Panel with Touchscreen
Silicon Carbide Wafer

高溫氧化爐

山东十一选五前三组遗漏数据 www.fikuq.com c.OXIDATOR 150是一種高溫爐,是商先創公司熱解決方案為碳化硅(SiC)的氧化專門設計的。

工藝溫度高達1500°C,可使用氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)、氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)或濕法進行氧化,從而使靈活性與業經證明的工藝質量完美地結合。

擁有無金屬加熱與雙真空裝備,c.OXIDATOR 150目前是市場上最安全的可用有毒氣體的氧化爐。

優點

  • 2"、3"、100毫米與150毫米晶圓或任何組合的批量加工
  • 最高加熱速度達到7.5度/分鐘
  • 批量多達50(150毫米)片晶圓
  • 加工壓力范圍從850毫巴到大氣壓

工藝流程

  • 氧化