山东十一选五全天计划群:c.PLASMA X PECVD 系統

PECVD石墨舟
晶體硅太陽能電池加工過程中的鈍化與增透膜

下一代高產能PECVD系統

山东十一选五前三组遗漏数据 www.fikuq.com 革命性的c.PLASMA X 管式PECVD系統將推動光伏產業的發展?;諶虬滄傲砍?000臺的centrotherm成熟平臺,它設定了高產能的新標準。具有優異的工藝表現和最低的運營成本,它很快將成為光伏工業的新標桿。

和知名的前一代產品一樣,新的10管設計同樣實現了最大的工藝靈活性及系統可利用性。最值得稱道的是,它集成了TMA供應柜和真空泵,顯著節省了占地面積。如果生產負荷和工藝順序發生變化,它仍然能夠保證平穩運轉。即使單根爐管因維護、工藝優化、暫停使用而停止工作,其余爐管仍能夠連續的有硅片產出。

優點

  • 優異的鈍化性能
  • 一體化表面處理(良好的附著力、無氣泡)
  • 可變的多層與梯度層加工順序
  • 由于冗余與短周期時間實現高利用率
  • 10個獨立運轉的石英管反應腔(可選:五管式)
  • 全自動舟輸送
  • 水冷卻系統防止不同爐管間的熱干擾
  • ??榛杓票閿詘滄壩肫舳恫?,并能整合到現有生產線中去

工藝流程

  • 氮化矽 (SiNx) PECVD
  • 二氧化硅 (SiOx) PECVD
  • 氮氧化物 (SiONx) PECVD
  • 氧化鋁 (AlOx) PECVD
  • Multi-Layer多層
  • 其他工藝