山东十一选五定胆技巧:c.LAB 研發系統

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研發晶體硅太陽能電池應用的批量類系統

山东十一选五前三组遗漏数据 www.fikuq.com 商先創公司的研發管式系統是為太陽能電池生產研究和開發多樣化的工藝要求專門設計的。這一系統不僅對于小批量加工非常理想,對于大批量加工也表現出優異的性能,例如用于對生產環境的工藝效果進行評估。

該管式系統的主要性能包括一流的工藝性能、占地面積小、總體擁有成本低、工藝靈活性高,適于廣泛的不同應用。

 

優點

  • 多達4根獨立運轉的石英管(可?。禾薊瑁?
  • 可以根據工藝要求選擇不同的反應腔(有2管版與4管版可供選用)
  • 清潔的自動舟裝載(軟著陸裝置)
  • 可以小批量(研發)加工也可以批量生產(評估)
  • 水冷卻系統防止不同加工處理管之間的熱干擾
  • 把生產環境中的熱負荷降至最小限度
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工藝流程

  • 大氣壓
    - 擴散 (POCl3, BBr3, 可?。築2H6, PH3)
    - 濕氧化與干氧化(任?。篋CE 、HCl)
    - 接觸燒結
    - 退火
  • 低壓
    - LP POCl3
    - LP BBr3
  • PECVD(等離子增強化學氣相沉積工藝)
    - 氧化物
    - 氮化物
    - 氮氧化物
  • LPCVD(低壓化學氣相沉積)
    - 多晶硅(摻雜多晶硅與不摻雜多晶硅)
    - 四氮化三硅
    - 氧化物 (TEOS, LTO, HTO等.)
    - 氮氧化物