山东十一选五ios:c.DIFF LP 管式低壓擴散爐

Niederdruck-Diffusionsofen c.DIFF LP
Vakuum-Schlie?mechanismus des c.DIFF LP
Prozessboot Diamantstellung

管式低壓擴散爐

山东十一选五前三组遗漏数据 www.fikuq.com c.DIFF LP是centrotherm多用途擴散系統,在高效太陽
電池制程中形成可靠的發射極。該系統實現低壓工藝,
可應用于P型和N型晶體硅太陽能電池生產過程。
得益于其寬泛的工藝窗口和靈活的工藝控制能力,依靠
c.DIFF LP設備可以形成優質、可重復的均勻發射極,
方阻可高至180Ω/sq。

管式生產系統具有其天然的優勢,對于不同的生產情況
和工藝順序具有高度的靈活性,當其中一根爐管進行維
護、關閉或者工藝優化時,其他爐管仍然可以繼續工作。

根據工廠情況、產能要求以及自動化水平,我們能夠
提供不同配置的產品。

    優點

    • 高效太陽能電池工藝
      • 優異的擴散均勻性
      • 可實現更高的方塊電阻(250Ω)
      • 新一代用于發射極制程的擴散工藝
      • 氣體氣氛的快速改變能夠建立新的擴散條件,
        進而更好的調整發射極的摻雜曲線。
    • 最低的成本投入
      • 相同產能下通過減少設備數量達到最小的占地空間
      • 更低的物料和動力消耗
        (節省POCl3多達50%, BBr3多達75%)

    工藝流程

    • 低壓擴散工藝(POCl3, BBr3)
    • 可選項:可實現常壓工藝POCl3, BBr3, BCl3)
    • 濕氧和干氧氧化工藝(可選項:DCE, HCl)
    • 退火工藝(例如N2, H2)
    • 要求的其他工藝