山东十一选五:c.DIFF LP 管式低压扩散炉

Niederdruck-Diffusionsofen c.DIFF LP
Vakuum-Schlie?mechanismus des c.DIFF LP
Prozessboot Diamantstellung

管式低压扩散炉

山东十一选五前三组遗漏数据 www.fikuq.com c.DIFF LP是centrotherm多用途扩散系统,在高效太阳
电池制程中形成可靠的发射极。该系统实现低压工艺,
可应用于P型和N型晶体硅太阳能电池生产过程。
得益于其宽泛的工艺窗口和灵活的工艺控制能力,依靠
c.DIFF LP设备可以形成优质、可重复的均匀发射极,
方阻可高至180Ω/sq。

管式生产系统具有其天然的优势,对于不同的生产情况
和工艺顺序具有高度的灵活性,当其中一根炉管进行维
护、关闭或者工艺优化时,其他炉管仍然可以继续工作。

根据工厂情况、产能要求以及自动化水平,我们能够
提供不同配置的产品。

    优点

    • 高效太阳能电池工艺
      • 优异的扩散均匀性
      • 可实现更高的方块电阻(250Ω)
      • 新一代用于发射极制程的扩散工艺
      • 气体气氛的快速改变能够建立新的扩散条件,
        进而更好的调整发射极的掺杂曲线。
    • 最低的成本投入
      • 相同产能下通过减少设备数量达到最小的占地空间
      • 更低的物料和动力消耗
        (节省POCl3多达50%, BBr3多达75%)

    工艺流程

    • 低压扩散工艺(POCl3, BBr3)
    • 可选项:可实现常压工艺POCl3, BBr3, BCl3)
    • 湿氧和干氧氧化工艺(可选项:DCE, HCl)
    • 退火工艺(例如N2, H2)
    • 要求的其他工艺