山东十一选五幸运之门:生产设备

水平管式LPCVD系统,用于本征或原位掺杂的多晶硅薄膜量产

水平管式LPCVD系统,用于本征或原位掺杂的多晶硅薄膜量产

    工艺流程

    • LPCVD
LPCVD系统: c.DEPO X

电池生产中用于烧结金属电极的烧结炉

电池生产中用于烧结金属电极的烧结炉

    工艺流程

    • 正面金属化烧结
    • 背面触点合金化
    • 干燥金属化浆料
快速烧结炉: c.FIRE

光热再生炉- 抑制太阳能电池片LID衰减

光热再生炉- 抑制太阳能电池片LID衰减

    工艺流程

    • 太阳能电池片光热再生    
    • 硼氧对缺陷钝化
再生炉: c.REG

研发晶体硅太阳能电池应用的批量类系统

研发晶体硅太阳能电池应用的批量类系统

    工艺流程

    • 大气压
      扩散 | 湿氧化与干氧化 | 接触烧结 | 退火
    • 低压
      氧化物 | 氮化物 | 氮氧化物
    • LPCVD (低压化学汽相沉积)
      多晶硅(掺杂多晶硅与不掺杂多晶硅) | 四氮化三硅 | 氧化物 | 氮氧化物
研发系统: c.LAB