山东十一选五有任一吗:生產設備

水平管式LPCVD系統,用于本征或原位摻雜的多晶硅薄膜量產

水平管式LPCVD系統,用于本征或原位摻雜的多晶硅薄膜量產

    工藝流程

    • LPCVD
LPCVD系統: c.DEPO X

電池生產中用于燒結金屬電極的燒結爐

電池生產中用于燒結金屬電極的燒結爐

    工藝流程

    • 正面金屬化燒結
    • 背面觸點合金化
    • 干燥金屬化漿料
快速燒結爐: c.FIRE

光熱再生爐- 抑制太陽能電池片LID衰減

光熱再生爐- 抑制太陽能電池片LID衰減

    工藝流程

    • 太陽能電池片光熱再生    
    • 硼氧對缺陷鈍化
再生爐: c.REG

研發晶體硅太陽能電池應用的批量類系統

研發晶體硅太陽能電池應用的批量類系統

    工藝流程

    • 大氣壓
      擴散 | 濕氧化與干氧化 | 接觸燒結 | 退火
    • 低壓
      氧化物 | 氮化物 | 氮氧化物
    • LPCVD (低壓化學汽相沉積)
      多晶硅(摻雜多晶硅與不摻雜多晶硅) | 四氮化三硅 | 氧化物 | 氮氧化物
研發系統: c.LAB