360山东十一选五走势:PECVD 舟維護升級

PECVD石墨舟

山东十一选五前三组遗漏数据 www.fikuq.com 商先創公司的PECVD 系統是為了確保最大限度地實現系統的正常運行時間而設計的。鑒于沉積只發生在硅片和石墨舟的表面,工藝管只受到寄生沉積的影響,每年只需要清理一次.通常,工藝用舟的清洗與重新刻蝕不但成本高昂,而且耗費時間,因為必須先把它們拆下,清洗與重新刻蝕后還要重新把它們裝上。

商先創公司享有專利的新型工藝用舟免除了拆卸的麻煩,因此節約了客戶大量的時間與人工。此外,也把因工藝用舟處理不當而導致的良率降低和舟損壞的風險減小到最低限度。

最重要的創新包括改進的內置排空渠道(purge channels)的陶瓷與石墨襯墊。這樣,在為重新刻蝕工藝用舟作準備時,只需要將幾個連接銷部分松開即可,而不需要改變工藝用舟的整體結構。

優點

  • 節約定期維修工作的時間
  • 減小損壞部件的風險
  • 由于減少了清洗時間,減少了每個系統的工藝用舟只數。
  • 能夠在較高溫度下干燥工藝用舟
  • 最大限度地減少了滲入反應腔的腐蝕性殘渣
  • 防止因工藝用舟安裝位置不準確造成的產出損失